介绍

VEGA第四代钨灯丝扫描电子显微镜，采用全新的 Essence™ 电镜操控软件系统，集成了Essence™ EDS 分析平台，将扫描形貌图像与元素实时分析集成于同一个扫描窗口中，大大简化了样品表面形貌的采集及所含元素的数据分析工作，使得全新的第四代VEGA SEM成为在样品检测及研究方面的更高效的分析手段。

大视野光路（Wide Field Optics™）

n在2倍放大倍率视野下，无需导航相机即可轻松实现样品导航。

n大视野无畸变的图像实时观测，可连续放大感兴趣的区域，无需光学导航相机。

n与预倾斜样品台配合使用，对于需要倾斜分析的样品，支持扫描倾斜校正，从而实现更精准的导航。

实时电子束追踪技术（In Flight Beam Tracing™）

n无需更换光阑调节电子束强度，电子束强度连续可调；

n一键即可达到理想分辨率的束流

n 中间镜设计（Intermediate Lens^TM）

 Single VacTM 模式

专为观测不导电样品和电子束敏感的样品设计

nVEGA标配全新的 SingleVac™ 模式，出厂预设了 SingleVac™ 的真空值，无需表面导电涂层处理，可直接观察不导电样品

nUniVac™ 模式（选配）实现压力的持续可调，可变压力可达 500 Pa

n真空缓冲节能单元（Vacuum Buffer）（选配），可显著缩短机械泵的运行时间

n4Q BSE探测器可从不同角度采集信号

注：VEGA Compact不具备Single Vac^TM 模式

完全集成的Essence™ EDS 分析平台

Essence™ 电镜操控软件的单一窗口中即可实现SEM成像和元素成分分析

n无需第三方附件及链接

n无需进行SEM与EDS图像的位置，标尺及亮度对比度的调节

n无需二次采集图像

nSEM 图像没有边缘畸变

Essence™ 3D防碰撞模块

n3D图像直观显示探测器及样品台的位置

n快速搜索

n操作步骤撤销，提升操作效率或防止误操作

应用案例